Nobuyuki MORONUKI, Yuji FURUKAWA: "Frictional Properties of the Micro-Textured Surface of Anisotropically Etched Silicon"Annals of CIRP. Vol.52, No.1. 471-474 (2003)
Nobuyuki MORONUKI, Yuji FURUKAWA: "Frictional Properties of the Micro-Textured Surface of Anisotropically Etched Silicon"Annals of CIRP. Vol.52, No.1. 471-474 (2003)
复制标题
Nobuyuki MORONUKI、Yuji FURUKAWA：“各向异性蚀刻硅微纹理表面的摩擦特性”CIRP 年鉴。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
