Haptic sensing technology for MEMS design and manufacture
Haptic sensing technology for MEMS design and manufacture
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用于 MEMS 设计和制造的触觉传感技术
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M. Calis
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Calis
