Effects of ion energy on surface and mechanical properties of BN films formed by a reactive plasma-assisted coating method
Effects of ion energy on surface and mechanical properties of BN films formed by a reactive plasma-assisted coating method
复制标题
离子能量对反应等离子体辅助涂覆BN薄膜表面和力学性能的影响
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Ono
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Noma;K. Eriguchi;S. Hasegawa;M. Yamashita;K. Ono
