微細加工技術の開発とGaAs 系二次元電子系単電子源への応用
微細加工技術の開発とGaAs 系二次元電子系単電子源への応用
复制标题
GaAs二维电子单电子源微细加工技术发展及应用
DOI:
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发表时间:
2019
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
小林研介
中科院分区:
文献类型:
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作者:
則元将太;岩切秀一;横井雅彦;荒川智紀;新見康洋;小林研介