Intrinsic Friction Behaviour Originated from Molecular Structure of Lubricant in Nanoscale Gap Fabricated by MEMS
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复制标题
MEMS 制造的纳米级间隙中润滑剂分子结构的固有摩擦行为
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Toshiyuki Tsuchiya and Tomoko Hirayama
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Wataru Yagi;Yuanlin Xia;Toshiyuki Tsuchiya and Tomoko Hirayama
