N.Sato,S.Iizuka: "Effects of electron temperature control on an ArーCH_4 plasma" Proc.Int.Seminar on Reactive Plasmas. 1. 371-376 (1991)
N.Sato,S.Iizuka: "Effects of electron temperature control on an ArーCH_4 plasma" Proc.Int.Seminar on Reactive Plasmas. 1. 371-376 (1991)
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N.Sato, S.Iizuka：“电子温度控制对 Ar-CH_4 等离子体的影响”Proc.Int.Seminar on Reactive Plasmas。 1. 371-376 (1991)
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