合金ターゲットのスパッタリングによって作製したZrCuNiAl金属ガラス薄膜の機械的性質の評価
合金ターゲットのスパッタリングによって作製したZrCuNiAl金属ガラス薄膜の機械的性質の評価
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合金靶材溅射制备ZrCuNiAl金属玻璃薄膜力学性能评价
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
船越政伸,西祐一,吉木啓介,生津資大,井上尚三
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中村 寛, 高梨 正祐, 伊藤 隆基; 呉 敏; 坂根 政男;船越政伸,西祐一,吉木啓介,生津資大,井上尚三
