Inner Coating of Long Narrow Tube by Scanning 2nd Harmonic ECRMicro Plasmas

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扫描二次谐波 ECR 微等离子体制备长窄管内涂层

DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
Pfoc. of the 6th Asia-Europe Internatiollal Symposium on Plasma Surface Engineering vol.1
影响因子：
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通讯作者：
T. Nakatani and H. Fujiyama
T. Nakatani and H. Fujiyama
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
K. Yan;Y. Nitta;T. Nakatani and H. Fujiyama

文献摘要

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