Yong Sun: "Study of Sputtering Mechanism of Silicon with Hydrogen Plasma Controlled by Magnetic Field" Jpn. J. Appl. Phys.33. L263-L266 (1994)
Yong Sun: "Study of Sputtering Mechanism of Silicon with Hydrogen Plasma Controlled by Magnetic Field" Jpn. J. Appl. Phys.33. L263-L266 (1994)
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孙勇：《磁场控制氢等离子体溅射硅机理的研究》Jpn.
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