Mechanism of thermal oxidation of 3C-SiC grown on Si
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Si上生长的3C-SiC的热氧化机理
DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Wang, Lei
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Liu, Xingfang;Luo, Muchang;Li, Jinmin;Sun, Guosheng;Zhao, Wanshun;Li, Jiaye;Zhao, Yongmei;Wang, Lei
