多結晶シリコンの初期凝固部における結晶成長方位制御
多結晶シリコンの初期凝固部における結晶成長方位制御
复制标题
多晶硅初始凝固区晶体生长取向的控制
DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
宮原広郁
中科院分区:
文献类型:
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作者:
渕上遥平;成田一人;宮原広郁