The Effect of Perimeter Geometry on FBAR Resonator Electrical Performance

The Effect of Perimeter Geometry on FBAR Resonator Electrical Performance
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DOI：
10.1109/mwsym.2005.1516563
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发表时间：
2005-06
期刊：
IEEE MTT-S International Microwave Symposium Digest, 2005.
影响因子：
--
通讯作者：
R. Ruby;J. Larson;C. Feng;S. Fazzio
R. Ruby;J. Larson;C. Feng;S. Fazzio
中科院分区：
其他
文献类型：
--
作者：
R. Ruby;J. Larson;C. Feng;S. Fazzio

文献摘要

被引文献

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我们描述了 FBAR 谐振器中的前四种兰姆瑞利模式。我们还描述了与方形谐振器相比，变迹（非平行边缘）对 kx-ky 空间的影响。
We describe the first four Lamb-Rayleigh modes seen in an FBAR resonator. We also describe the effect of apodization (non parallel edges) have on the kx-ky space as compared to square resonators.