スパッタリング法により作製したZnO-SnO2 を用いた薄膜トランジスタの熱処理効果
スパッタリング法により作製したZnO-SnO2 を用いた薄膜トランジスタの熱処理効果
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溅射法制备ZnO-SnO2薄膜晶体管的热处理效果
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
佐藤和郎，村上修一，金岡祐介，山田義春，筧芳治，近藤裕佑，櫻井芳昭
中科院分区：
文献类型：
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作者：
堀井勇哉;石鍋隆宏;柴田陽生;藤掛英夫;佐藤和郎;佐藤和郎，村上修一，金岡祐介，山田義春，筧芳治，近藤裕佑，櫻井芳昭
