「HMDSNを用いた磁場-パルスプラズマ援用化学気相成長法による環境セル型透過電子顕微鏡用a-SiCN隔膜の特性評価」
「HMDSNを用いた磁場-パルスプラズマ援用化学気相成長法による環境セル型透過電子顕微鏡用a-SiCN隔膜の特性評価」
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“通过使用 HMDSN 的磁场脉冲等离子体辅助化学气相沉积来评估用于环境细胞透射电子显微镜的 a-SiCN 隔膜的特性”
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山﨑佳代,松谷貴臣,中野人志,崔子鵬,川﨑忠寛
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kayo YAMASAKI;Hidenori TSUTSUI;Takaomi MATSUTANI;Tadahiro KAWASAKI;山﨑佳代,松谷貴臣,中野人志,崔子鵬,川﨑忠寛;山﨑佳代,松谷貴臣,中野人志,崔子鵬,川﨑忠寛
