光放射圧を利用した微粒子制御によるナノ仕上げ加工に関する研究 -加工特性の解析-
光放射圧を利用した微粒子制御によるナノ仕上げ加工に関する研究 -加工特性の解析-
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利用光辐射压进行粒子控制的纳米精加工研究-加工特性分析-
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
林 照剛
中科院分区：
文献类型：
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作者：
檜田健史郎;三好 隆志;高谷 裕浩;林 照剛
