中性粒子ビームエッチングの加工形状シミュレーション(2)
中性粒子ビームエッチングの加工形状シミュレーション(2)
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中性粒子束蚀刻加工形状模拟（二）
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
望月俊輔,大塚晋吾,渡辺尚貴,岩崎拓也,小野耕平,入江康郎,久保田智広,杉山正和,寒川誠二
中科院分区：
文献类型：
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作者：
望月俊輔,大塚晋吾,渡辺尚貴,岩崎拓也,小野耕平,入江康郎,久保田智広,杉山正和,寒川誠二
