Demonstration of non-negligible oxygen exchange in the thermal oxidation of silicon carbide
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DOI：
10.1016/j.vacuum.2021.110403
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发表时间：
2021-09
期刊：
影响因子：
4
通讯作者：
Nannan You;Xinyu Liu;Yun Bai;Qian Zhang;Peng Liu;Shengkai Wang
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Nannan You;Xinyu Liu;Yun Bai;Qian Zhang;Peng Liu;Shengkai Wang
