Silicon nitride encapsulation to preserve ohmic contacts characteristics in high temperature oxygen rich environments
Silicon nitride encapsulation to preserve ohmic contacts characteristics in high temperature oxygen rich environments
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氮化硅封装可在高温富氧环境中保持欧姆接触特性
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发表时间：
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期刊：
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通讯作者：
Roy, S.K.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Roy, S.K.
