Euv光源用質量制限ターゲットを用いたレーザー生成Snプラズマからのデブリ放出特性
Euv光源用質量制限ターゲットを用いたレーザー生成Snプラズマからのデブリ放出特性
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使用 EUV 光源的质量限制靶材激光生成 Sn 等离子体的碎片发射特性
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
岡田 龍雄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中村 大輔;秋山 智哉;田丸 晃士;橋本 祐樹;高橋 昭彦;岡田 龍雄
