HAREM: High Aspect Ratio Etching and Metallization for microsystems fabrication(Article Number. 075008)
HAREM: High Aspect Ratio Etching and Metallization for microsystems fabrication(Article Number. 075008)
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HAREM：用于微系统制造的高深宽比蚀刻和金属化（文章编号。075008）
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and H. Fujita
中科院分区：
文献类型：
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作者：
E. Sarajlic;C. Yamahata;M. Cordero;D. Collard;and H. Fujita
