Photoelectrochemical Oxidation Assisted Catalyst-Referred Etching for SiC (0001) Surface
Photoelectrochemical Oxidation Assisted Catalyst-Referred Etching for SiC (0001) Surface
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SiC (0001) 表面光电化学氧化辅助催化蚀刻
DOI：
10.20965/ijat.2021.p0074
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发表时间：
2021
影响因子：
1.1
通讯作者：
and Y. Sano
中科院分区：
文献类型：
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作者：
D. Toh;P. V. Bui;K. Yamauchi;and Y. Sano
