H.Uchihara: "Quantitative Analysis of Trace Bulk Oxygen in Silicon Wafers Using an Inert Gas Fusion Method"Analytical Sciences. 19. 1545-1547 (2003)
H.Uchihara: "Quantitative Analysis of Trace Bulk Oxygen in Silicon Wafers Using an Inert Gas Fusion Method"Analytical Sciences. 19. 1545-1547 (2003)
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H.Uchihara：“使用惰性气体熔融法定量分析硅片中的微量大量氧”分析科学。
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