原子層加工技術-中性粒子ビームによる原子層無欠陥加工技術とデバイスへの展-
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原子层加工技术 - 利用中性粒子束的原子层无缺陷加工技术及其在器件中的应用 -
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
寒川 誠二
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Feher O.;Toth L. Viktor;Kraus Alex;Bagner Rebeka;Kim Gwanjeong;Liu Tie;Tatematsu Ken’ichi;Eden David J.;Hirano Naomi;Juvela Mika;Kim Kee-Tae;Li Di;Liu Sheng-Yuan;Wu Yuefang;堀井亮;髙橋亘;Katsuya Shimizu;白旗崇;寒川 誠二
