STEMを用いた半導体線幅測定および線形状測定のサブナノメートル校正
STEMを用いた半導体線幅測定および線形状測定のサブナノメートル校正
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使用 STEM 进行半导体线宽和线形测量的亚纳米校准
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
高増潔
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K.Fujita;T.Suidu;T.Yamasaki;伊佐治恵;H.Tamiaki;高増潔
