Vapor phase diffusion and surface diffusion combined model for InGaAsP selective area metal organic vapor phase epitaxy
Vapor phase diffusion and surface diffusion combined model for InGaAsP selective area metal organic vapor phase epitaxy
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InGaAsP选择性区域金属有机气相外延的气相扩散和表面扩散组合模型
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Yoshiaki Nakano
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tomonari Shioda;Masakazu Sugiyama;Yukihiro Shimogaki;and Yoshiaki Nakano
