使用温度下におけるトーションバーの機械強度評価に基づくポリマーMEMS ミラーの設計と評価
使用温度下におけるトーションバーの機械強度評価に基づくポリマーMEMS ミラーの設計と評価
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基于工作温度下扭杆机械强度评估的聚合物MEMS反射镜设计与评估
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大平文和
中科院分区：
文献类型：
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作者：
佐々木修;鈴木孝明;寺尾京平;高尾英邦;下川房男;貝原吉智;生津資大;大平文和
