Microstructure evolution of thin films examined by GISAXS
Microstructure evolution of thin films examined by GISAXS
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通过 GISAXS 检查薄膜的微观结构演化
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
N.Igarashi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H.Okuda;T.Yamamoto;Y.Kitajima;S.Sakurai;H.OPgawa;N.Shimizu;N.Igarashi
