プラズマCVD法を用いたナノダイヤモンド/アモルファスカーボン複合膜の形成方法
プラズマCVD法を用いたナノダイヤモンド/アモルファスカーボン複合膜の形成方法
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等离子体CVD法纳米金刚石/非晶碳复合膜的形成方法
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发表时间:
2007
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