BHF処理を施したSrTiO3基板に対する水リフトオフプロセスの検討
BHF処理を施したSrTiO3基板に対する水リフトオフプロセスの検討
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BHF处理后SrTiO3基体水分剥离过程的研究
DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
川江 建
中科院分区:
文献类型:
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作者:
梶谷亮介;川江 建