栃久保文嘉,鈴木晶,角田茂,寺薗裕子,浜田秀史,美濃島邦宏,真壁利明: "Diagonostics of RF Glow Discharges in SiH_4 by the Spatiotemporal Optical Emission Spectroscopy" Proceedings of the 7th Symposium on Plasma Processing. 1. 157-160 (1990)
栃久保文嘉,鈴木晶,角田茂,寺薗裕子,浜田秀史,美濃島邦宏,真壁利明: "Diagonostics of RF Glow Discharges in SiH_4 by the Spatiotemporal Optical Emission Spectroscopy" Proceedings of the 7th Symposium on Plasma Processing. 1. 157-160 (1990)
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Fumiya Tochikubo、Akira Suzuki、Shigeru Tsunoda、Yuko Terazono、Hidefumi Hamada、Kunihiro Minoshima、Toshiaki Makabe：“时空发射光谱对 SiH_4 中射频辉光放电的诊断”第七届等离子体处理研讨会论文集 1. 157-160。 (1990)
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