レジスト薄膜中の空間分布測定を目的とした軟X線反射型共鳴散乱の検討
レジスト薄膜中の空間分布測定を目的とした軟X線反射型共鳴散乱の検討
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软X射线反射型共振散射测量光刻胶薄膜空间分布的研究
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
渡邊健夫
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中本敦啓;山川進二;原田哲男;渡邊健夫
