プラズマＣＶＤ法を用いたシリカ系ガスバリア膜の作製とガス透過速度の測定
プラズマＣＶＤ法を用いたシリカ系ガスバリア膜の作製とガス透過速度の測定
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采用等离子体CVD法制备二氧化硅基阻气膜并测量气体透过率
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大津啓幸・竹田依加・河瀬元明
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Erika Takeda;Toshiki Deguchi;Hiroyuki Otsu and Motoaki Kawase;竹田依加 ・出口利樹 ・大津啓幸 ・河瀬元明;大津啓幸・竹田依加・河瀬元明
