半導体マイクロ波反応装置の開発
半導体マイクロ波反応装置の開発
复制标题
半导体微波反应器的研制
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
矢嶋龍彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
松村竹子;藤井 知;福岡隆夫;栗原英紀;矢嶋龍彦
