半導体ナノワイヤレーザへの集束イオンビーム加工とそのダメージ抑制
半導体ナノワイヤレーザへの集束イオンビーム加工とそのダメージ抑制
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半导体纳米线激光器聚焦离子束加工及其损伤抑制
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
納富雅也
中科院分区：
文献类型：
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作者：
滝口雅人;Zhang Guoqiang;佐々木智;舘野功太;J. Caleb;小野真証;角倉久史;新家昭彦;納富雅也
