Fabrication of a ZnO-based microcavity using the reactive helicon-wave-excited-plasma sputtering method
Fabrication of a ZnO-based microcavity using the reactive helicon-wave-excited-plasma sputtering method
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采用反应螺旋波激发等离子体溅射法制备 ZnO 基微腔
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and S. F. Chichibu
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Kasuya;K. Shima;K. Kojima;K. Furusawa;and S. F. Chichibu
