荷重制御下の繰返し圧子押込みによるTiNおよびSiCスパッタ薄膜のはく離特性評価
荷重制御下の繰返し圧子押込みによるTiNおよびSiCスパッタ薄膜のはく離特性評価
复制标题
负载控制下重复压痕评价 TiN 和 SiC 溅射薄膜的剥离特性
DOI：
--
复制
发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
加藤昌彦
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Yanada;H.;Tran;K;D.;Okamoto;T;赤上 陽一;加藤昌彦
