High Resolution Micro-photoforming Using a Spinner Laminated Layer and a DVD Optical Head.
High Resolution Micro-photoforming Using a Spinner Laminated Layer and a DVD Optical Head.
复制标题
使用旋转层压层和 DVD 光头进行高分辨率微光成型。
DOI：
10.2493/jjspe.65.1360
复制
发表时间：
1999
影响因子：
--
通讯作者：
Akihiko Tomimura
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
H. Ukita;Akihiko Tomimura
提出了一种用旋涂器制作单元叠层的微光刻技术。使用DVD光学头确认了2 μ m的高分辨率以固化可见光固化树脂。制造了一个直径为30 μ m的羽毛球光学旋转器，以表明3D微结构的可能性。
A micro-photoforming whose unit laminated layer is made by a spinner is proposed. A high resolution of 2 μ m was confirmed to solidify a visible light curable resin using a DVD optical head. A 30 μ m diameter shuttlecock optical rotator was fabricated to indicate the possibility of 3D microstructures.