Development of Ultrahigh Vacuum Floating-Type Low-Energy Ion Gun with Differential Pumping Facilities for High Resolution Depth Profiling
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开发用于高分辨率深度剖析的带差动泵装置的超高真空浮动式低能离子枪
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K.Uta
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y.Mizuhara;T.Bungo;T.Nagatomi;Y.Takai;S.Suzuki;K.Kikuchi;T.Sato;K.Uta
