Characterization of (11-20) textured ZnO films fabricated by RF magnetron sputtering
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射频磁控溅射制备的 (11-20) 织构 ZnO 薄膜的表征
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Otani
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yanagitani;Tomohiro;Nohara;Matsukawa;Watanabe;Otani
