High Electrical Conductivity and Good Thermal Stability of Al-Doped ZnO with Al Capping Layer Deposited by Magnetron Sputtering
High Electrical Conductivity and Good Thermal Stability of Al-Doped ZnO with Al Capping Layer Deposited by Magnetron Sputtering
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磁控溅射沉积Al覆盖层的Al掺杂ZnO具有高导电性和良好的热稳定性
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Makino Hisao
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Dao Hoa T.;Makino Hisao
