低温FIB法とアトムプローブ・STEM複合法による半導体粒界の構造・組成精密評価
低温FIB法とアトムプローブ・STEM複合法による半導体粒界の構造・組成精密評価
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使用低温 FIB 方法和原子探针/STEM 组合方法精确评估半导体晶界的结构和成分
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大野 裕
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中山 大輝;毛利真一郎;福田安莉;高林佑介;正直花奈子;三宅秀人;荒木努;小倉 裕介，林 啓太，下村 優，西村 隆宏，谷田 純;大野 裕
