機械学習を用いた高速成膜プロセスの開発とエネルギー薄膜探索
機械学習を用いた高速成膜プロセスの開発とエネルギー薄膜探索
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利用机器学习开发高速薄膜沉积工艺并寻找高能薄膜
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
後藤真宏
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Muyang Wang;Takuya Yurikusa;Koji Iwano;Yasuhiko Sakai;Yasumasa Ito;後藤真宏
