Surface treatment of GaN substrates by thermal cleaning
Surface treatment of GaN substrates by thermal cleaning
复制标题
GaN衬底的热清洗表面处理
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
O. Eryu and T. Hashizume
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Okada;H. Miyake;K. Hiramatsu;R. Miyagawa;O. Eryu and T. Hashizume
