Characerization of Strain for High Performanced Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor

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高性能金属氧化物半导体场效应晶体管的应变表征

DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
Japanese Journal of Applied Physics 47
影响因子:
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通讯作者:
Daisuke Kosemura
Daisuke Kosemura
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
小手川恒;正木了;他4名;Daisuke Kosemura

文献摘要

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