(Invited) Area-selective spatial ALD of SiO2 interleaved with back-etch corrections: Selectivity and surface inspection of non-growth area
(Invited) Area-selective spatial ALD of SiO2 interleaved with back-etch corrections: Selectivity and surface inspection of non-growth area
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（特邀）SiO2 的区域选择性空间 ALD 与回蚀校正交错：非生长区域的选择性和表面检测
DOI：
10.1149/ma2021-0121839mtgabs
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Mameli A
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Mameli A
