VLSボトムアップ成長Core/Shell-SiCナノワイヤのMEMS援用ピエゾ抵抗特性評価
VLSボトムアップ成長Core/Shell-SiCナノワイヤのMEMS援用ピエゾ抵抗特性評価
复制标题
VLS 自下而上生长的核/壳-SiC 纳米线的 MEMS 辅助压阻评估
DOI：
--
复制
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
菅野公二，磯野吉正
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
仲田進哉，井本大暉，Feancesca Rossi;Alois Lugstein;菅野公二，磯野吉正
