マルチプローブ走査型トンネル顕微鏡と結晶格子による2次元変位エンコーダの開発

マルチプローブ走査型トンネル顕微鏡と結晶格子による2次元変位エンコーダの開発
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利用多探头扫描隧道显微镜和晶格开发二维位移编码器

DOI:
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发表时间:
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期刊:
精密工学会誌 (投稿中)
影响因子:
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通讯作者:
Chaikool Patamaporn
Chaikool Patamaporn
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
本田裕;明田川正人;Chaikool Patamaporn

文献摘要

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