Spatiotemporal Non-uniformity of CVD Plasmas and Film Qualities (Invited)
Spatiotemporal Non-uniformity of CVD Plasmas and Film Qualities (Invited)
复制标题
CVD等离子体和薄膜质量的时空非均匀性（特邀）
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M. Shiratani
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Erbar;K. Kuwada and K.-T. Sturm;M. Shiratani
