CF4支援マグネトロンスパッタ法による La1-xBaxF3-xエピタキシャル薄膜作製と評価
CF4支援マグネトロンスパッタ法による La1-xBaxF3-xエピタキシャル薄膜作製と評価
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CF4辅助磁控溅射法La1-xBaxF3-x外延薄膜制备及评价
DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
一杉太郎
中科院分区:
文献类型:
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作者:
深津圭佑;清水亮太;XinDai;大井あすか;小林成;西尾和記;一杉太郎