高周波マグネトロン放電の自己バイアス(ターゲット電極への電子流入に対する磁場の影響)
高周波マグネトロン放電の自己バイアス(ターゲット電極への電子流入に対する磁場の影響)
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高频磁控管放电的自偏压（磁场对电子流入靶电极的影响）
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
南部健一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
米村 茂;南部健一
